| 为了适应薄膜材料与技术飞速发展的需要，并反映该领域最新的科技成果和态势，我们在多年教学、科学实践科学的基础上，参阅了国内外的有关文献资料，编写了本书。在简要地阐述有关薄膜的物理化学基础理论以及真空和低温等离子体技术的相关知识的基础上，重点介绍了功能薄膜、超硬薄膜等一些新型薄膜材料的结构、性能、作用机理以及用途等；分析了各种薄膜制备手段和材料表面改性技术的特点、原理和适用范围。最后，本书还扼要介绍了一些表面分析测试技术和特殊手段。 本书是“材料科学与工程研究生教学用书”之一，该书共发5章，它是在参照作者多年教学科学实践的基础上，简要地阐述了有关薄膜的物理化学基础理论以及真空和低温等离子体技术的相关知识的，并重点介绍了功能薄膜、超硬薄膜等一些新型薄膜材料的结构、性能、作用机理以及用途，分析了各种薄膜制备手段和材料表面改性技术的特点、原理和适用范围。另外，该书还在最后扼要介绍了一些表面分析测试技术和特殊手段。该书可供各大院校作为教材使用，也可供从事相关工作的人员参考阅读。 |
| 前言 1 表面薄膜与真空物理基础 1.1 表面物理化学基础 1.1.1 表面晶体学 1.1.2 表面能与表面张力 1.1.3 表面吸附和氧化 1.1.4 表面的润湿 1.1.5 表面扩散 1.1.6 表面电子态 1.2 真空技术基础 1.2.1 真空与压强 1.2.2 气体分子间的碰撞及平均自由程 1.2.3 气体与表面的作用 1.2.4 气体在真空容器中的流动 1.2.5 真空技术基本方程 1.2.6 真空的获取 1.2.7 真空的测量 1.3 低温等离子体基础 1.3.1 低压气体放电原理 1.3.2 低温等离子体的特征 1.4 薄膜形核与生长 1.4.1 形核 1.4.2 生长过程 思考题 参考文献 2 功能薄膜材料 2.1 光电薄膜 2.1.1 单晶硅薄膜 2.1.2 多晶硅薄膜 2.1.3 非晶硅薄膜 2.1.4 化合物半导体薄膜 2.2 磁性薄膜 2.2.1 磁光薄膜 2.2.2 磁阻薄膜 2.2.3 巨磁阻薄膜材料 2.3 智能薄膜材料 2.3.1 形状记忆合金薄膜材料 2.3.2 生物智能薄膜 2.4 分离膜及膜材料 2.4.1 膜分离的基本原理 2.4.2 膜分离技术的特点 2.4.3 膜分离过程 2.4.4 分离膜材料 2.4.5 分离膜分类 2.5 纳米薄膜材料 2.5.1 纳米功能薄膜的性能 2.5.2 几种典型的纳米功能薄膜 2.5.3 Si基纳米薄膜与器件 |
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